空气过滤器：净化工程中常用到空气过滤器为主要的净化装置来对空气进行除尘处理。主要通过多孔过滤材料的作用从气固两相流中捕集粉尘，并使气体得以净化的设备。它把含尘量低的空气净化处理后送入室内，以确保洁净房间的工艺要求和一般空调房间内的空气洁净度。一般分为初效过滤器，中效过滤器，高效过滤器及亚高效等型号。各种型号有不同的标准和使用效能。
FFU（风机过滤单元）：一种自带动力的送风过滤装置，英文全称为（Fan Filter Unit），具有过滤功效的模块化的末端送风装置。风机过滤机组从顶部将空气吸入和并经HEPA过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%左右的速度均匀送出。
风淋室：风淋室是一种通用性较强的局部净化设备，安装于洁净室与非洁净室之间，是进入洁净室所必需的通道，可以减少进出洁净室所带来的污染问题。当人与货物要进入洁净区时需经风淋室吹淋，其吹出的洁净空气可去除人与货物所携带的尘埃，能有效的阻断或减少尘源进入洁净区。风淋室/货淋室的前后两道门为电子互锁，又可起到气闸的作用，阻止未净化的空气进入洁净区域。